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超聲波清洗的媒介中都會(huì)溶解一定量的空氣，研究發(fā)現(xiàn)這些溶解的氣體在超聲波清洗中起著負(fù)面作用，主要表現(xiàn)有以下三個(gè)方面：
 
　　1、不利于空穴作用的發(fā)揮
 
　　在超聲波清洗時(shí)實(shí)際會(huì)產(chǎn)生兩種空穴.一種是溶解在清洗液中的氣體氣化形成的的氣泡性空穴；一種是清洗液溶劑蒸發(fā)的蒸汽形成的真性空穴.由于氣泡性空穴的體積小，其破裂時(shí)產(chǎn)生的沖擊波也比較弱.而蒸汽產(chǎn)生的真性空穴在破裂時(shí)產(chǎn)生的沖擊波要強(qiáng)10倍以上.
 
　　在清洗介質(zhì)中溶解有很多氣體時(shí)，產(chǎn)生的空穴主要是氣泡空穴.只有在脫氣排除這些氣體后才有利于產(chǎn)生真性空穴.并利用真性空穴強(qiáng)大的沖擊波粉碎和剝離附著在工件上的頑固污垢.
 
　　2、不利于超聲波振動(dòng)加速度作用的發(fā)揮
 
　　使用高頻超聲波清洗，是目前清洗超精密工件的重要手段，其原理是利用超聲波使清洗液的振動(dòng)加速度大大提高來(lái)達(dá)到清洗目的的.當(dāng)巨大的振動(dòng)加速度施加到工件上時(shí)，其表面上的污垢粒子即易于被剝離.由于高頻超聲波對(duì)工件的損傷小，所以常用于半導(dǎo)體和液晶顯示器基板等精密復(fù)雜工件的清洗.但如果清洗液中溶解有很多氣體時(shí)，超聲波在清洗液中的傳播速度就會(huì)發(fā)生衰減，不能發(fā)揮其獨(dú)特的清洗作用.因此在使用高頻超聲波清洗時(shí)也要進(jìn)行真空脫氣處理.
 
　　3、溶解氣體會(huì)造成清洗工件的氧化
 
　　溶解的氣體中含有相當(dāng)數(shù)量的氧氣，它會(huì)造成在超聲波清洗過(guò)程中金屬工件的氧化或生銹.通過(guò)真空脫氣處理可以使清洗液中的殘氧量大大降低，不僅可以減少清洗和干燥處理的時(shí)間而且可以有效的解決防銹的問(wèn)題.采用真空發(fā)生器等真空脫氣裝置可將各類(lèi)清洗劑中的殘存溶氧量降到2mg/L以下，經(jīng)過(guò)真空脫氣處理后的清洗劑用于超聲波清洗的效率大大提高，特別是對(duì)形狀復(fù)雜、孔隙細(xì)小的精密零件清洗效果尤為明顯.

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